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精于测，智于控—— -
精于测，智于控——
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深耕半导体领域七年，我们深知精准的过程监测是半导体生产工艺的核心。
因此，我们始终履行半导体制造精密监测全流程可控自研的使命
晋芯智控 WaferInst™ 晶圆测温系统，包括Etch Temperature Sensor /Wet Temperature Sensor 无线晶圆测温系统、TC Wafer晶圆测温系统与RTD Wafe晶圆测温系统产品。在测温精度、响应速度及稳定性等核心指标上已对标国际顶尖水平。TC Wafer晶圆测温系统提供高精度接触式测量，RTD Wafe晶圆测温系统r实现高分辨率电阻温度监测，Etch Temperature Sensor /Wet Temperature Sensor 无线晶圆测温系统则具备卓越的原位实时无线测温能力，精准满足先进制程的严苛工艺要求。目前，全系列产品实现了核心软件算法的完全自主化，在研发与制造的全生命周期中严格遵循行业高标准，以中国智造全面对标进口设备，为半导体制造提供了兼具顶尖性能与安全屏障的测温解决方案。
晋芯智控MultiInst™功能性校准片在传感测量精度、数据采集稳定性以及物理形态规格上，各项关键技术参数均已达到国际主流进口设备的同等标准。在半导体实际产线应用中，MultiInst™校准片能提供高可靠性的测试数据，完全满足先进制程对工艺控制的技术要求。凭借本土化制造，产品不仅在核心性能上实现了对海外高端竞品的原位替代，大幅降低了晶圆厂的各个环节采购与运维成本，并提供了更快速的技术响应周期，实质性地保障了半导体制造供应链的高效益高敏捷运作。
深入覆盖工艺关键制程，我们提供集温度、力学与微环境监测于一体的晶圆级传感方案，精准捕捉腔体状态与机械异常，助您打破工艺黑盒，实现工艺良率的极致掌控。
