广东晋芯智控科技有限公司是一家专注于半导体多物理量测量产品的高科技企业，集研发、设计、制造、销售及技术服务为一体，致力于为全球半导体制造厂商提供高精度的晶圆温度测量与功能性校准解决方案。公司拥有1000平方米生产厂房及配套的十万级无尘洁净车间，已通过ISO9001质量管理体系认证，科研人员占比达到40%，凭借行业经验与自主创新能力，构建了以精准测温与智能校准为核心的两大产品体系。
半导体温度测量领域，晋芯智控解决了多项技术难题，推出了覆盖有线到无线的全场景解决方案，包括高使用寿命的TC Wafer、RTD Wafer以及先进的Etch Temperature Sensor /Wet Temperature Sensor 无线晶圆测温系统。该系统通过实时获取晶圆各点位的温度变化与升温速率，为薄膜沉积、刻蚀、快速退火等关键工艺提供高精度的控制支持。在制程设备校准领域，公司研发生产的Wafer Gapping System（WGS）晶圆型间隙校准系统、Wafer Teaching System（WTS）晶圆型位置校准系统Wafer Multi System（WMS）晶圆型多功能检测系统、Wafer Particle System（WPS）晶圆型颗粒浓度检测系统等功能性晶圆校准系统。相关产品有效检测生产工艺中出现的异常偏差、机台震动及腔体环境异常等问题，缩短设备调试周期。
